スパッタ法による超高密度DLC薄膜の作製

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 鈴木 英佐

  東京工芸大学工学部

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部

• 鈴木 英佐

  東京工芸大学工学部電子工学科

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

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