TiO_2薄膜の光触媒特性向上のための助触媒効果(光材料・デバイス,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))

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概要

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本研究は、RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に、銅と鉄を助触媒として担持することで光触媒特性の向上を図った。その結果、鉄を担持すると有機物分解特性と光励起親水性の両方が向上し、銅を担持すると有機物分解特性は鉄以上に高まるが光励起親水性は低下することが分かった。銅と鉄の担持にはイオンコーターを用いた。堆積速度の再現性向上を目的として、ターゲットと基板の間に金属の網を設置した。その結果、堆積速度の制御性が向上することが分かった。銅と鉄の膜厚は、有機物分解特性を向上させるための重要な変数の一つであることが分かった。
2012-05-10

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