バリウムフェライト薄膜媒体の微粒子化
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概要
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高密度磁気記録用BaM薄膜媒体を実現するために不可欠な結晶粒径の微細化について検討を行った。熱酸化シリコン基板上に直接BaMを堆積した場合、膜厚を薄くするにつれ単調に減少し、膜厚30nm以下では結晶粒径は30nm以下の膜が得られた。しかし、これらの膜の保磁力は膜厚が30nm以下になると急激に減少しスーパーパラ磁性粒子の増加を示唆していた。一方、ZnO下地層の上にBaM薄膜を堆積する場合、ZnO下地層の結晶粒径の減少は、その上に堆積する、BaM薄膜の結晶粒径の微細化にが結びつかず、小さな結晶粒径の膜を実現するためにはBaM層の厚さを減少させる必要があった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-01
著者
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