C-6-5 酸素イオンアシスト斜め入射蒸着法によるTiO2膜の微細構造制御(C-6.電子部品・材料)

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-03-05

著者

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

• 安田 洋司

  東京工芸大学工学研究科

• 安田 洋司

  東京工芸大工

• 星 陽一

  東京工芸大工

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