スパッタ法による上部電極膜の作製が有機EL素子の動作特性に及ぼす影響
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概要
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有機EL素子においてスパッタ法を用いた上部電極膜の堆積が素子特性に及ぼす影響を調べた。その結果、(1)有機EL素子の作製では、基板入射する高エネルギー2次電子の基板への入射があると、動作電圧が著しく高くなってしまうこと、(2)Al上部陰極膜の作製においては、基板に入射する高エネルギー電子や高エネルギースパッタ粒子を抑制するとともに、斜め入射堆積粒子の割合を減らすことが、低電圧で動作する素子の作製に必要であること、(3)ITO上部陽極膜の作製では、網マスクを基板付近に挿入して影になる部分を作ることが発光特性の改善に有効であることが分かった。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-07-25
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