C-6-5 TiO_2薄膜の反応性スパッタにおける堆積速度減少の機構について(C-6.電子部品・材料)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-03-08

著者

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部

• 高橋 友規

  東京工芸大学工学部

• 星 陽一

  東京工芸大学工学部システム電子情報学科

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

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