CS-4-1 有機EL素子上部電極作製のための低ダメージスパッタ堆積法の検討(CS-4.有機エレクトロニクスデバイス作製・評価技術の最新動向と今後の展望)

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概要

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• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-03-05

著者

• 小林 信一

  東京工芸大学工学部電子工学科

• 内田 孝幸

  東京工芸大

• 星 陽一

  東京工芸大学 工学部 システム情報学科

• 内田 孝幸

  東京工芸大工

• 清水 英彦

  新潟大工

• 小林 信一

  東京工芸大学工学部

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