ケミカルバス法によるZnS薄膜の作製 : 膜厚の制御(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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アンモニアとヒドラジン-水和物を錯化剤として用いたケミカルバス(CBD)法によってZnS薄膜の作製を行った。このとき、溶液のpHをパラメータとして変化させて、どのような作製条件で膜成長がよく起こるのかを調べた。そして、反応溶液のpHを高く維持することにより、厚い膜を作製できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-11-09
著者
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