有機および無機塩化物原料を用いた CuAlS_2 の気相エピタキシャル成長

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概要

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CuC1およびH_2Sと共にA1原料としてAlCl_3と(C_2H_5)_2AlClのどちらを用いても、CuAlS_2の気相エピタキシャル成長が可能であることを初めて明らかにした。AlCl_3を用いた場合ではc軸方向への配向にa軸方向への配向が混在した成長層が得られたが、(C_2H_5)_2AlClを用いた場合ではc軸方向へのみ配向した成長層が得られた。AlCl_3を用いた金属原料とH_2Sの交互供給においてもCuAlS_2の気相エピタキシャル成長層が得られた。しかし、AlCl_3供給量に対してのみ単位サイクル当たりの成長速度が単分子層厚で飽和する領域が見られなかったことから、ALEは達成されていないと思われる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-09-30

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