有機強誘電体P(VDF-TrFE)と無機酸化物半導体IGZOを用いた強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製と評価
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-04-16
著者
-
石原 宏
東京工業大学
-
藤崎 芳久
日立製作所中央研究所
-
徳光 永輔
東京工業大学 精密工学研究所
-
石原 宏
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
Lee Gwang-Geun
東京工業大学精密工学研究所
-
Yoon Sung-Min
Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI)
-
Yoon Joo-Won
東京工業大学総合理工学研究科
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