C-11-7 減圧仮焼成を用いたゾルゲル法による PZT 薄膜の作製と評価
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-10
著者
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徳光 永輔
東京工業大学 精密工学研究所
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徳光 永輔
東京工業大学精密工学研究所
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徳光 永輔
東京工業大学精密工学研究所:東北大学電気通信研究所it-21センター
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徳光 永輔
東京工業大学
-
妹尾 賢
東京工業大学
-
宮迫 毅明
東京工業大学
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宮迫 毅明
東京工業大学精密工学研究所
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妹尾 賢
東京工業大学精密工学研究所
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