C-11-9 共沸硝酸酸化 SiO_2 の強誘電体ゲートトランジスターバッファ層への応用
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概要
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- 2003-09-10
著者
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徳光 永輔
東北大学 電気通信研究所
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徳光 永輔
東京工業大学精密工学研究所
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徳光 永輔
東京工業大学精密工学研究所:東北大学電気通信研究所it-21センター
-
杉田 直紀
東京工業大学精密光学研究所
-
徳光 永輔
東北大学 It-21 センター
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