Al_2O_3堆積膜をゲート絶縁膜に用いたSiC-MOSFETの作製と評価(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

スポンサーリンク

概要

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク