結晶軸に沿ったZnイオン注入によるGaNの高抵抗化
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概要
著者
-
石川 博康
名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター
-
江川 孝志
名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター
-
石川 博康
名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター
-
石川 博康
名古屋工業大学工学研究科機能工学専攻:名古屋工業大学工学研究科都市循環システム工学専攻
-
尾関 龍夫
三菱電機
-
尾関 龍夫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
三浦 成久
三菱電機先端技術総合研究所
-
大石 敏之
三菱電機株式会社
-
大石 敏之
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
三浦 成久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吹田 宗義
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
南條 拓真
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
阿部 雄次
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
大石 敏之
三菱電機(株)
-
江川 孝志
名古屋工業大学
-
阿部 雄次
三菱電機先端総研
-
南條 拓真
三菱電機
-
吹田 宗義
三菱電機
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