高温動作センサ用GaN系半導体の結晶成長

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概要

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• 1998-01-21

著者

• 石川 博康

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 江川 孝志

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 神保 孝志

  名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター

• 石川 博康

  名古屋工業大学工学研究科機能工学専攻:名古屋工業大学工学研究科都市循環システム工学専攻

• 梅野 正義

  名古屋工業大学

• 中村 光一

  名古屋工業大学

• 江川 孝志

  名古屋工業大学

• 神保 孝志

  名古屋工業大学

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