徳光 永輔 | 東北大学 電気通信研究所

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概要

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• 徳光 永輔

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• 舟窪 浩

  東京工大 工

• 舟窪 浩

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 舟窪 浩

  東京工業大学総合理工学科学研究所

• 徳光 永輔

  東北大学電気通信研究所

• 舟窪 浩

  東京工業大学大学院 総合理工学研究科 物質科学創造専攻

• 中山 誠

  東京工業大学精密工学研究所

• 高橋 健治

  東京工業大学総合理工学研究科

• 斎木 博和

  東京工業大学精密工学研究所

• 杉田 直紀

  東京工業大学精密光学研究所

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著作論文

• C-11-9 共沸硝酸酸化 SiO_2 の強誘電体ゲートトランジスターバッファ層への応用
• CVD法によるゲート絶縁膜用HfO_2薄膜の作製
• CVD法によるゲート絶縁膜用HfO_2薄膜の作製
• C-11-9 スプリットゲート構造を有する強誘電体ゲートトランジスタ

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