減圧仮焼成法による酸化物薄膜結晶化促進機構

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概要

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• 2005-03-04

著者

• 石原 宏

  東京工業大学

• 藤崎 芳久

  日立製作所中央研究所

• 石原 宏

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

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