エキシマレーザ・アニールpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長における水素の効果(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
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概要
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エキシマレーザ・アニール法により形成したpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長に対する水素の効果を検討した.レーザ照射密度250mJ/cm^2ではディスク状結晶粒は観察されなかったが,300mJ/cm^2ではわずかに観察され,ショット数が増加してもディスク状結晶粒の面密度および,粒径は変化しなかった.水素はディスク状結晶粒の核形成,核成長を阻害した.双晶がディスク状結晶粒の核と仮定すると,水素により双晶の形成が阻害されるために,ディスク状結晶粒の核形成が阻害されたと考えられる.
- 2010-04-16
著者
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松尾 直人
兵庫県立大学
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部家 彰
兵庫県立大学物質系
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河本 直哉
山口大学工学部電気電子工学科
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部家 彰
石川県工試
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松尾 直人
山口大学工学部
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松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
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松尾 直人
山口大 工
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河本 直哉
山口大学大学院理工学研究科
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河本 直哉
山口大 工
-
山田 和史
兵庫県立大学工学研究科
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河本 直哉
山口大学工学部
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松尾 直人
兵庫県立大学工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院
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