a-Si膜の熱結晶化におけるレーザプラズマ軟X線照射の効果

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概要

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• 兵庫県立大学の論文

著者

• 天野 壮

  兵庫県立大高度研

• 部家 彰

  石川県工試

• 部家 彰

  兵庫県立大学工学研究科

• 礒田 伸哉

  兵庫県立大学大学院物質系工学専攻

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