レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化(シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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LPXを照射したa-Si膜を、ラマン分光法、分光エリプソメトリ、ESRを用いて解析した。LPX照射によりa-Si膜上部の屈折率、消衰係数、膜中のダングリングボンド数が変化していることが分かった。このことから擬似結晶核を形成するエンブリオの形成について議論する。また、全過程におけるLPX照射による低温結晶化についても擬似結晶核の生成と関連付けて議論する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-11-27
著者
-
宮本 修治
兵庫県立大高度研
-
望月 孝晏
兵庫県立大高度研
-
天野 壮
兵庫県立大高度研
-
宮本 修治
阪大レーザ研
-
松尾 直人
兵庫県立大学
-
部家 彰
兵庫県立大学物質系
-
宮本 修治
姫工大高度研
-
望月 孝晏
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
-
部家 彰
石川県工試
-
松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
宮本 修治
阪大レーザー研
-
松尾 直人
兵庫県立大学工学研究科
-
宮本 修治
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
-
礒田 伸哉
兵庫県立大学大学院物質系工学専攻
-
宮本 修治
兵庫県立大学
-
天野 壮
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
望月 孝晏
兵庫県立大
-
望月 孝晏
姫路工業大学 高度産業科学技術研究所
-
松尾 直人
兵庫県立大学工学部
-
宮本 修治
兵庫県立大学高度産業技術研究所
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院
-
部家 彰
兵庫県立大学 大学院工学研究科
-
宮本 修治
兵庫県立大
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