部家 彰 | 石川県工試

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概要

• 同名の論文著者
• 石川県工試の論文著者

関連著者

• 部家 彰

  石川県工試

• 松尾 直人

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学工学研究科

• 松尾 直人

  兵庫県立大学

• 部家 彰

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学大学院

• 松尾 直人

  兵庫県立大学工学部

• 松尾 直人

  兵庫県立大学工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学 大学院工学研究科

• 部家 彰

  兵庫県立大学物質系

• 神田 一浩

  兵庫県立大学高度産業科学技術研究所

• 神田 一浩

  兵庫県立大

• 宮本 修治

  兵庫県立大高度研

• 宮本 修治

  阪大レーザ研

• 望月 孝晏

  姫路工業大学高度産業科学技術研究所

• 宮本 修治

  兵庫県立大学

• 望月 孝晏

  兵庫県立大

• 望月 孝晏

  姫路工業大学 高度産業科学技術研究所

• 宮本 修治

  兵庫県立大学高度産業技術研究所

• 宮本 修治

  兵庫県立大

• 松尾 直人

  山口大学工学部

• 松尾 直人

  山口大 工

• 長谷川 裕師

  兵庫県立大学工学研究科

• 天野 壮

  兵庫県立大高度研

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 河本 直哉

  山口大学大学院理工学研究科

• 長谷川 裕師

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 山田 和史

  兵庫県立大学工学研究科

• 天野 壮

  兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所

• 望月 孝晏

  兵庫県立大高度研

• 高梨 泰幸

  兵庫県立大学

• 宮本 修治

  姫工大高度研

• 神田 一浩

  兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所

• 南川 俊治

  石川県工業試験場

• 河本 直哉

  山口大学工学部電気電子工学科

• 南川 俊治

  石川県工試

• 山名 一成

  兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻

• 河本 直哉

  山口大 工

• 高梨 泰幸

  兵庫県立大学大学院物質系工学専攻

• 松尾 直人

  山口大

• 佐道 泰造

  九州大学システム情報科学府

• 宮尾 正信

  九州大学システム情報科学府

• 宮本 修治

  阪大レーザー研

• 河本 直哉

  山口大学工学部

• 礒田 伸哉

  兵庫県立大学大学院物質系工学専攻

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 横山 新

  広島大・ナノデバイス・バイオ融合研:広島大院・先端・生命機能

• 高城 祥吾

  兵庫県立大学物質系工学専攻

• 高田 忠雄

  兵庫県立大学物質系工学専攻

• 山名 一成

  兵庫県立大学物質系工学専攻

• 高城 祥吾

  兵庫県大

• 野々村 勇希

  兵庫県立大学工学部

• 木野 翔太

  兵庫県立大学工学部

• 都甲 薫

  九州大学システム情報科学研究院

• 高田 忠雄

  兵庫県立大学物質工学専攻

• 大倉 健作

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 米澤 保人

  石川県工試

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所

• 梅本 宏信

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 米澤 保人

  石川県工業試験場

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 仁木 敏一

  (株)石川製作所

• 室井 進

  (株)石川製作所

• 高野 昌宏

  石川県工試

• 仁木 敏一

  石川県工試

• 室井 進

  石川製作所

• 増田 淳

  北陸先端大

• 梅本 宏信

  北陸先端大

• 松村 英樹

  北陸先端大

• 宮尾 正信

  九州大学大学院システム情報科学

• 佐道 泰造

  九州大学大学院システム情報科学

• 佐藤 真彦

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 都甲 薫

  九州大学大学院システム情報科学研究院

• 佐道 泰造

  Kyushu Univ. Fukuoka Jpn

• 高野 昌宏

  北海道大学大学院

• 高野 昌宏

  石川県工業試験場機械金属部

• 宮本 修治

  兵庫県立大学高度産業科学技術研究所

• 大村 泰久

  関西大学大学院:関西大学先端科学技術推進機構

• 大村 泰久

  関西大学大学院:関西大学・先端科学技術推進機構

• 大村 泰久

  関西大学大学院工学研究科

• 小林 孝裕

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 栃尾 貴之

  関西大学大学院理工学研究科

• 大倉 健作

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 坂本 憲児

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 坂本 憲児

  広島大学

• 佐道 泰造

  九州大学システム情報科学研究院

• 宮尾 正信

  九州大学システム情報科学研究院

• 天野 壮

  兵庫県立大学高度産業技術研究所

• 小林 孝裕

  兵庫県立大学大学院

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著作論文

• Cat-CVD法により形成したSiNx膜の応力制御(S05-3 薄膜の強度物性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜表面のSi原子移動
• a-Si膜の熱結晶化におけるレーザプラズマ軟X線照射の効果
• エキシマレーザ・アニール法で形成した多結晶シリコン膜中のディスク状結晶粒の評価
• 水素輸送堆積法におけるペンタセン膜特性の水素流量依存性
• アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜中のSi原子移動(シリコン関連材料の作製と評価)
• 原子状水素アニール処理によるペンタセンTFTの絶縁膜界面特性の向上(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
• エキシマレーザ・アニールpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長における水素の効果(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• エキシマレーザ・アニールpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長における水素の効果(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化(シリコン関連材料の作製と評価)
• ペンタセンOTFTの膜質評価および電気伝導機構の考察(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• ペンタセンOTFTの膜質評価および電気伝導機構の考察(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• 有機ELの保護膜形成技術 (特集 有機・無機EL技術動向とその応用)
• ソース・ドレーン領域に極薄SiN_x膜を形成したTFTドレーン電流の温度依存性(半導体材料・デバイス)
• Siゲートを持つDNA電界効果トランジスタに関する研究(シリコン関連材料の作製と評価)
• エキシマレーザ・アニールで作製した多結晶シリコン膜のディスク状結晶粒 : a-Si膜中の水素の影響
• DNA電界効果トランジスタの電荷保持特性(シリコン関連材料の作製と評価)
• 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発(シリコン関連材料の作製と評価)
• 軟X線照射のみによる半導体非晶質膜の低温結晶化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• 軟X線照射のみによる半導体非晶質膜の低温結晶化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
• 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発

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