仁木 敏一 | (株)石川製作所
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
梅本 宏信
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
南川 俊治
石川県工業試験場
-
仁木 敏一
(株)石川製作所
-
南川 俊治
石川県工試
-
増田 淳
北陸先端大
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
-
南 茂平
(株)石川製作所
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
松尾 直人
兵庫県立大学
-
部家 彰
兵庫県立大学物質系
-
仁木 敏一
石川製作所
-
南 茂平
石川製作所
-
松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
松尾 直人
山口大
-
松尾 直人
兵庫県大
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院
-
部家 彰
兵庫県立大学 大学院工学研究科
-
米澤 保人
石川県工業試験場
-
室井 進
(株)石川製作所
-
高野 昌宏
北海道大学大学院
-
高野 昌宏
石川県工業試験場機械金属部
-
米澤 保人
石川県工試
-
部家 彰
石川県工業試験場
-
高野 昌宏
石川県工業試験場
-
増田 淳
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
仁木 敏一
Ishikawa Seisakusho, Ltd.
-
部家 彰
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
南川 俊治
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
梅本 宏信
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
松村 英樹
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
高野 昌宏
石川県工試
-
部家 彰
石川県工試
-
仁木 敏一
石川県工試
-
室井 進
石川製作所
-
梅本 宏信
北陸先端大
-
松村 英樹
北陸先端大
著作論文
- Cat-CVD法による窒化シリコン薄膜の低温堆積 : 気相診断と膜質評価(半導体エレクトロニクス)
- 有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 : 低温触媒CVD装置の開発(半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性, 信頼性一般)
- Cat-CVD 法によるガスバリア膜の低温形成
- Cat-CVD法により形成したSiNx膜の応力制御(S05-3 薄膜の強度物性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
- 有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 : 低温触媒CVD装置の開発(半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性, 信頼性一般)
- 有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 : 低温触媒CVD装置の開発(半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性, 信頼性一般)