松村 英樹 | 北陸先端大

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概要

• 同名の論文著者
• 北陸先端大の論文著者

関連著者

• 松村 英樹

  北陸先端大

• 米澤 保人

  石川県工試

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学

• 増田 淳

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所

• 梅本 宏信

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 米澤 保人

  石川県工業試験場

• 松村 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 南川 俊治

  石川県工業試験場

• 仁木 敏一

  (株)石川製作所

• 室井 進

  (株)石川製作所

• 高野 昌宏

  石川県工試

• 部家 彰

  石川県工試

• 仁木 敏一

  石川県工試

• 南川 俊治

  石川県工試

• 室井 進

  石川製作所

• 増田 淳

  北陸先端大

• 梅本 宏信

  北陸先端大

• 高野 昌宏

  北海道大学大学院

• 高野 昌宏

  石川県工業試験場機械金属部

• 部家 彰

  兵庫県立大学工学研究科

• 角南 英夫

  広大ナノデバイス

• 服部 公則

  大阪大学基礎工学部

• 木下 博雄

  兵庫県立大学 極端紫外線リソグラフィー研究開発センター

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著作論文

• Cat-CVD法により形成したSiNx膜の応力制御(S05-3 薄膜の強度物性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 半導体デバイス作製と密接にかかわるビーム応用,放射線・プラズマ分野
• デバイススケーリングとそれを支えるプロセス
• アモルファス物質研究の新たな展開
• Cat-CVD (Hot Wire CVD)法による製膜プロセスとデバイス応用

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