有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 : 低温触媒CVD装置の開発(半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性, 信頼性一般)
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概要
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触媒CVD(Cat-CVD)法を用いて、有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子用水蒸気バリア膜として窒化シリコン(SiN_x)膜の低温形成を行った。原料ガス(SiH_4およびNH_3)にH_2を添加することにより、基板温度80℃以下で透明(波長400nmで光吸収率数%以下)かつ低内部応力(100MPa以下)の水蒸気バリア性の高いSiN_x膜を高速形成(100nm/min以上)できることを明らかとした。プラスチックフィルム上にSiN_x膜を形成した場合、水蒸気透過率はモコン法の検出限界以下であり、有機EL素子に実装試験を行った場合、実使用時間で少なくとも7000時間は劣化しないことを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-11-18
著者
-
松尾 直人
兵庫県立大学
-
部家 彰
兵庫県立大学物質系
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
梅本 宏信
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
南川 俊治
石川県工業試験場
-
仁木 敏一
(株)石川製作所
-
南 茂平
(株)石川製作所
-
仁木 敏一
石川製作所
-
南 茂平
石川製作所
-
南川 俊治
石川県工試
-
増田 淳
北陸先端大
-
松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
松尾 直人
山口大
-
松尾 直人
兵庫県大
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院
-
部家 彰
兵庫県立大学 大学院工学研究科
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