エキシマレーザ・アニールで作製した多結晶シリコン膜のディスク状結晶粒 : a-Si膜中の水素の影響
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概要
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- 2012-02-01
著者
-
松尾 直人
兵庫県立大学
-
部家 彰
石川県工試
-
松尾 直人
山口大学工学部
-
松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
松尾 直人
山口大 工
-
河本 直哉
山口大学大学院理工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
部家 彰
兵庫県立大学大学院
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