Heガスを用いたスパッタ法によるSrTiO_3薄膜の作製
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概要
著者
-
小柳 剛
山口大院
-
松尾 直人
山口大学工学部
-
松尾 直人
山口大 工
-
松尾 直人
山口大学工学部電気電子工学科
-
鹿嶋 徹哉
山口大学工学部
-
衣笠 彰則
山口大学工学部
-
吉村 知之
山口大学工学部
-
小柳 剛
山口大学工学部
-
松原 覚衛
山口大学工学部
-
松原 覚衛
山口東京理科大学;基礎工学部電子基礎工学科
-
松尾 直人
兵庫県立大学工学研究科
-
衣笠 彰則
山口大学工学部電気電子工学科
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