Si(100),(111)表面への有機炭素吸着と自然酸化膜成長の関係

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1997-10-20

著者

• 三好 正毅

  山口大学工学部電気電子工学科

• 松尾 直人

  山口大学工学部

• 松尾 直人

  兵庫県大

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