ELAポリシリコン薄膜の大粒径化 : 結晶成長と水素の関係(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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エキシマレーザアニール(ELA, excimer laser annealing,)の間に溶融Si中に取り込まれた水素の役割を多結晶S_1薄膜のグレインの大粒径化の観点から調査した。我々は触媒化学気相蒸着(Cat-CVD, catalytic chemical vapor deposition)法によりS_1N薄膜の水素濃度を制御したa-S_1/S_1N/glass構造の基板を作製することに成功した。粒径は水素濃度が減少することにより増加し、SiN膜の水素濃度を2.3at.%にすることで部分的に2μmを超えた。また結晶粒界の欠陥と水素の関係についても言及する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
著者
-
松尾 直人
兵庫県立大学
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
浜田 弘喜
三洋電機株式会社フロンティアデバイス研究所
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
河本 直哉
山口大学工学部電気電子工学科
-
瀬里 泰洋
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
三好 正毅
山口大学工学部電気電子工学科
-
増田 淳
北陸先端大
-
松尾 直人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
河本 直哉
山口大学大学院理工学研究科
-
河本 直哉
山口大 工
-
松尾 直人
山口大
-
河本 直哉
山口大学工学部
-
松尾 直人
兵庫県大
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
浜田 弘喜
三洋電機株式会社 先進太陽光発電開発センター
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