SC-8-6 Cat-CVD法による poly-Si TFT の低温形成とその特性
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-03-07
著者
-
和泉 亮
北陸先端科学技術大学院大学
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
増田 淳
北陸先端大
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
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