Cat-CVD法によるTFT作製 (低温ポリSi TFTと有機EL技術)
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概要
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- 電子情報通信学会の論文
- 2001-04-19
著者
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
増田 淳
北陸先端大
-
坂井 全弘
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
堤 隆之
北陸先端科学技術大学院大学・材料科学研究科
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