Cat-CVD 法によるガスバリア膜の低温形成
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2005-02-01
著者
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
増田 淳
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科:(現)産業技術総合研究所
-
梅本 宏信
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
南川 俊治
石川県工業試験場
-
仁木 敏一
(株)石川製作所
-
増田 淳
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
仁木 敏一
Ishikawa Seisakusho, Ltd.
-
部家 彰
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
南川 俊治
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
梅本 宏信
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
松村 英樹
Japan Advanced Institute of Science and Technology
-
南川 俊治
石川県工試
-
増田 淳
北陸先端大
-
部家 彰
兵庫県立大学工学研究科
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