3G-1 SAMによるガラス基板上の金属薄膜の膜厚推定(超音波顕微鏡)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1990-11-20
著者
-
米沢 保人
石川県工業試験場
-
南川 俊治
石川県工業試験場
-
南川 俊治
石川県工試
-
得永 嘉昭
金沢工業大学oeds R&sセンター
-
得永 嘉昭
金沢工業高等専門学校
-
泉屋 佳子
金沢工業高等専門学校
-
稲垣 極
金沢工業高等専門学校
-
得永 嘉昭
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
得永 嘉昭
金沢工業大学oeds R&dセンター
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