同時多周波数計測法を使う光音響顕微鏡による高速3次元傷画像取得のための基礎研究
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概要
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高速3次元傷画像計測のために同時多周波数計測法が提案された。まず,同時多周波数計測法の原理が示され,従来の方法との違いが説明された。次に,実際にグラファイト試料を使って10Hzから200Hzの範囲でPA信号振幅のレーザ変調波周波数依存性が測定され,ロックイン増幅器を使う方法とほぼ一致したf^<-0.96>依存性(f:変調周波数)を得た。この方法を使用すれば,計測時間をロックイン増幅器を使用する場合の約1/10にできることを示した。最後に,グラファイト試料の3次元内部傷が計測され,その計測時間がロックイン増幅器を使用する場合の約1/5になることも明らかにした。
- 2003-05-01
著者
-
加藤 恭子
金沢工業大学
-
得永 嘉昭
金沢工業大学OEDS R&Dセンター
-
田村 景明
金沢工業高等専門学校
-
得永 嘉昭
金沢工業大学大学院工学研究科電気電子工学専攻
-
岡山 敏教
金沢工業大学大学院工学研究科
-
得永 嘉昭
金沢工大 大学院
-
得永 嘉昭
金沢工業大学大学院
-
得永 嘉昭
金沢工業大学
-
岡山 敏教
金沢工業大学oeds R&dセンター
-
加藤 恭子
金沢工大
-
田村 景明
金沢工業高等専門学校電気工学科
-
得永 嘉昭
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
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