光音響顕微鏡のDSPによる計測高速化
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概要
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本研究は安価で取り扱いやすい新しい光音響顕微鏡系の開発を目指す研究の一環として行われたものである。本文では、従来の光音響信号を用いた試料の内部欠陥検出装置を小型化し、高速化するため、第1にBoxcar 積分器をDSPによる適応フィルタで置き換え、第2に機械式レーザ光走査をDSP駆動圧電アクチュエータを用いる方式に換えることを提案している。DSPの導入による新しいシステムの構想及び、試料の内部欠陥検出の可能性を述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-08
著者
-
松尾 貴之
金沢工大
-
加藤 恭子
金沢工業大学
-
田村 景明
金沢工業高等専門学校
-
武部 幹
金沢工業大学工学部
-
得永 嘉昭
金沢工大 大学院
-
得永 嘉昭
金沢工業高等専門学校
-
加藤 恭子
金沢工大
-
松尾 貴之
金沢工業大学
-
馬場 佳宏
金沢工業大学
-
高田 こずえ
金沢工業大学
-
竹腰 秀樹
金沢工業大学
-
田村 景明
金沢工業高等専門学校電気工学科
-
馬場 佳宏
金沢工業大学工学部情報工学科
-
竹腰 秀樹
金沢工業大学工学部情報工学科
-
高田 こずえ
金沢工業大学工学部情報工学科
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