Cat-CVD法による水蒸気バリア薄膜の低温形成 (特集 ELと光学技術)

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概要

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• 日本オプトメカトロニクス協会の論文

著者

• 南川 俊治

  石川県工業試験場

• 南川 俊治

  石川県工試

• 高野 昌宏

  北海道大学大学院

• 高野 昌宏

  石川県工業試験場機械金属部

• 部家 彰

  兵庫県立大学工学研究科

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