縦・屈曲独立電極を有する積層振動子を用いた超音波リニアモータの開発と応用
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概要
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速度の入出力特性、生産性を改善することを目的に独立した縦・屈曲振動用電極を持つ平板状積層振動子を開発した。本報では、この振動子の電極形状の最適化、及びモータ特性の評価、更にミラー角度調整用アクチュエータヘの応用について述べる。振動子の電極形状、大きさを最適化した結果、振動子の温度上昇の低減に大きな効果があり、本手法が有効であることを確認した。また、モータ特性を評価した結果、縦振動と屈曲振動を独立に制御することで、速度の入出力特性を改善できることを確認した。
- 2010-05-13
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
廣崎 憲一
石川県工業試験場
-
中村 健太郎
東京工業大学 精密工学研究所
-
高野 昌宏
石川県工業試験場
-
滝本 幹夫
ニッコー株式会社
-
市村 悟
シグマ光機株式会社
-
廣崎 憲一
石川県工業試験場機械金属部
-
高野 昌宏
北海道大学大学院
-
高野 昌宏
石川県工業試験場機械金属部
-
中村 健太郎
東京工業大学
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