非接触浮上式超音波モータの共振モード設計(強力超音波)
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概要
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直径30mmの金属円板に圧電素子を接着したステータと同径の円板ロータより構成される薄型非接触超音波モータを試作した。ステータにたわみ振動周方向進行波を励振すると音響放射力によりロータは浮揚し、音響流により回転する。まず、ロータ浮揚距離と回転数の関係を検討した。更に、このモータの高速化のために、ロータ・ステータ間空気層の音揚の共振周波数とステータの振動の共振周波数を一致させることを試みた。ステータの厚さを変化させることで、ステータの共振周波数を変化させ、空気層の音場の共振に一致させた。共振周波数とモード次数が一致すると高回転数が得られ、25kHz、(1,1)モードで駆動したときに回転数1,260rpmが得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東工大精研
-
中村 健太郎
東京工業大学
-
上羽 貞行
東京工業大学
-
齋藤 潤一
東工大・精研
-
齋藤 潤一
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
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