静電型,電磁型,圧電超音波型のマイクロアクチュエータ(<小特集>最近の超音波モータの研究とその動向)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-03-01
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
リュー ダニエルK.-C.
モナシュ大学
-
フレンド ジェームス
モナシュ大学
-
ヤオ レスリー
モナシュ大学
-
Friend James
モナシュ大
-
中村 健太郎
東京工業大学
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