ジルコン・チタン酸鉛系圧電セラミック振動子の振動応力及び温度依存性 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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圧電セラミック振動子を定常的に大振幅で駆動すると,発熱を伴って振動子の諸特性が変化することが知られている.本論文では連続電圧波とバースト電圧波を併用して大振幅特性の測定を行い,圧電セラミック振動子の振動応力依存性と温度依存性の分離を試みた.バースト電圧波駆動では振動子に温度上昇は認められず,純粋の振動応力依存性が測定できた.振動損は振動応力とともに増大し,弾性,誘電,圧電定数は略一定であった.連続電圧波駆動における弾性,誘電,圧電定数の変化は発熱による振動子の温度上昇に起因することが明らかにされた.また,振動損の変化は振動応力と温度の影響をともに受けることが明らかにされた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
梅田 幹雄
長岡工業高等専門学校
-
高橋 貞行
リードテクノ
-
佐々木 康弘
NEC実装研究所
-
佐々木 康弘
NEC(株)実装研究所
-
高橋 貞行
NEC研究開発グループ
-
佐々木 康弘
NEC研究開発グループ
-
梅田 幹雄
新潟職業能力開発短期大学校
-
中村 健太郎
東京工業大学
-
佐々木 康弘
Nec
-
上羽 貞行
東京工業大学
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