ポリ尿素圧電薄膜による集束型超音波トランスデューサ(音波物性・超音波計測技術)

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概要

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近年、超音波を用いた非破壊検査や医用診断において、超音波トランスデューサの高周波化・高機能化が求められている。本研究は、蒸着プロセスで容易に成膜可能な圧電高分子である芳香族ポリ尿素樹脂に注目し、この薄膜による高機能トランスデューサの作製を目指す。まず、Si上にポリ尿素5μmを蒸着させ、共振周波数156MHzを持つ平面トランスデューサを作製した。次に、凹面形フォーカストランスデューサ、円筒型ラインフォーカス型および可変フォーカス型トランスデューサについて試作・検討を行った。この結果から、ポリ尿素が凹面に蒸着可能であること、屈曲性に優れていることを確認した。また、凹面形トランスデューサを用いて、ホッチキス針の画像を得た。さらに、ラインフォーカストランスデューサを用いたV(z)曲線の測定から試料の弾性表面波速度を見積もった。
社団法人電子情報通信学会の論文
2005-10-13

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