弾性リッジ導波路を用いた超音波リニアモータの試作
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概要
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光通信用MEMSデバイス等に適用できる可動距離の大きなリニアアクチュエータとして弾性リッジ導波路を用いたマイクロ超音波リニアモータを提案した.基板上の細長い突起に沿って伝搬するリッジモード弾性波は楕円振動軌跡を伴うため,これによりスライダを摩擦駆動する.本報では,提案する原理確認のためにアクリル樹脂を用いて,幅W=5mm,高さH=15mm,ストローク1000mmの弾性リッジ導波路を試作した.その振動特性の実験的検討結果に基づきリン青銅板を用いてスライダを製作し,モータ動作の確認を行った.スライダの移動速度は約33mm/sであった.
- 2002-12-09
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
Friend James
東工大・精研
-
中村 健太郎
東京工業大学
-
上羽 貞行
東京工業大学
-
Friend James
東京工業大学精密工学研究所
-
神長 龍太
東京工業大学精密工学研究所
-
Friend James
東京工大 精密工研
-
Friend James
東京工業大学・精密工学研究所
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