超音波による微小物体の空中非接触搬送路--円形たわみ振動板を用いた搬送方向の変換および搬送路間の連結について (超音波)
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概要
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- 2011-01-20
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 大介
湘南工科大学 工学部
-
中村 健太郎
東京工業大学 精密工学研究所
-
中村 健太郎
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
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