ポリ尿素圧電膜を用いたモーションセンサの検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
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概要
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近年,3軸のモーションセンサ,特に3軸加速度センサの応用が広がりつつあり,さまざまな機器に組み込まれようとしている.このセンサはMEMS技術を用いたピエゾ抵抗型や静電容量型が主である.これらの方式の他に圧電型がある.圧電型は直接電圧を出力できる特徴があるが,圧電材料に高分子を用いることで耐衝撃性に非常に優れたものとなる.圧電高分子材料であるポリ尿素は完全ドライプロセスによる成膜が可能で,薄膜化,膜厚制御,任意形状への成膜が容易である.従って,現在のピエゾ抵抗型や静電容量型のセンサと同等のサイズのセンサを製作できる可能性がある.本報では,ポリ尿素膜を用いたMEMS圧電型モーションセンサの実現を目指して,ポリ尿素圧電型加速度センサに適用するセンサ構造を提案し,その構造による動作の確認を行う.先ず,ポリ尿素膜が加速度センサとして動作することを確認するため,片持ち梁形状の1軸加速度センサを製作し,出力電圧の測定を行った.衝撃加速度及び振動加速度を印加し,加速度の検出を確認した.製作した1軸加速度センサは約10mV/gの感度であり,共振周波数は320Hzであった.次に,提案する構造のセンサをPZTを用いて製作し,3軸加速度検出の動作確認を行った.衝撃加速度及び振動加速度の3軸の検出が可能であることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-19
著者
-
中村 健太郎
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
上羽 貞行
東工大精研
-
中澤 麻梨江
東京工業大学精密工学研究所
-
田原 雅哉
東京工業大学精密工学研究所
-
中澤 麻梨江
東工大精研
-
中村 健太郎
東京工業大学
-
上羽 貞行
東京工業大学
-
上羽 貞行
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
中澤 麻梨江
東工大
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