Cat-CVD法によるシリコン窒化膜を用いたCMOS ISFETセンサアレイの医療応用
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概要
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- 2011-03-22
著者
-
中里 和郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学
-
大平 圭介
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
松村 英樹
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
宇野 重康
名古屋大学大学院工学研究科
-
大平 圭介
北陸先端科学技術大学院
-
中里 和郎
名古屋大学
-
山渡 翔太
名古屋大学
-
大平 圭介
北陸先端科学技術大学院大学
-
宇野 重康
名古屋大学
-
宇野 重康
立命館大学理工学部 電子光情報工学科
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