27aB02 第一原理計算によるIn系窒化物原料の熱力学データ(窒化物(3),第34回結晶成長国内会議)
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概要
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We could not perform thermodynamic analyses on the MOVPE of InN and InGaN using methylhydrazine and dimethylhydrazine as a nitrogen source due to the lack of thermodynamic data of these gaseous sources. In order to perform the thermodynamic analyses, we calculated the thermodunamic data by a first-principle calculation and a vibration analysis.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2004-08-25
著者
-
田中 健
東京農工大学大学院応用化学専攻
-
寒川 義裕
九州大学応用力学研究所
-
熊谷 義直
東京農工大学大学院・工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大学大学院・工学系
-
松尾 有里子
九州大学応用力学研究所
-
寒川 義裕
東京農工大学大学院工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大
-
松尾 有里子
東京農工大工学部
-
松尾 有里子
東京農工大学工学部
-
田中 健
東京農工大学大学院・工学系
-
田中 健
東京農工大 大学院
-
寒川 義裕
九州大学応用力学研究所:九州大学大学院工学府航空宇宙工学専攻
-
熊谷 義直
東京農工大学大学院工学研究院
-
寒川 義裕
九大・応力研
-
熊谷 義直
東京農工大学
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