HVPE法を用いたAlNの成長は可能か?(AlN結晶成長シンポジウム)
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概要
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A thermodynamic analysis of the reactions between aluminum (Al) metal and hydrogen chloride (HCl) gas, and between aluminum chlorides (AlCl and AlCl_3) and quartz (SiO_2) was carried out for a hydride vapor phase epitaxy (HVPE) of AlN. From the point of view of thermodynamic analysis, the possibility of AlN growth by HVPE was described.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
寒川 義裕
九州大学応用力学研究所
-
熊谷 義直
東京農工大学大学院・工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大学大学院・工学系
-
菊地 潤
東京農工大学大学院・工学系
-
寒川 義裕
東京農工大学大学院工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大
-
寒川 義裕
九州大学応用力学研究所:九州大学大学院工学府航空宇宙工学専攻
-
寒川 義裕
九大・応力研
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