Al原料制御によるAlNのHVPE成長(AlN結晶成長シンポジウム)
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概要
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According to the thermodynamic analysis of the reaction between aluminum (Al) metal and hydrogen chloride (HCl) gas, AlCl_3 molecules are major species of aluminum chlorides when the temperature in the source zone is below 740℃. At first, the results for transporting Al chlorides are shown. Next, AlN HVPE by the growth system guided by thermodynamic analysis is described.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
熊谷 義直
東京農工大学大学院・工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大学大学院・工学系
-
山根 貴好
東京農工大学大学院 工学系
-
纐纈 明伯
東京農工大
-
鹿内 洋志
東京農工大学工学部応用分子化学科
-
熊谷 義直
東京農工大学
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