化合物半導体の原子層エピタキシー

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1994-07-10

著者

• 纐纈 明伯

  東京農工大学大学院・工学系

• 高橋 直行

  静大院理工

• 纐纈 明伯

  東京農工大

• 関 壽

  東京農工大学・工

• 関 寿

  農工大

• 高橋 直行

  東京農工大学工学部

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