Si埋め込み磁性ドット配列の磁気特性と磁化状態の解析(ハードディスクドライブ及び一般)
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概要
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われわれは電子線リソグラフィと化学機械研磨(CMP)を用いたダマシン法により,Si基板に正方形,長方形の微細なNi-Fe磁性ドット規則配列埋め込み構造を作製し,磁気力顕微鏡(MFM)を用いて磁化状態を観測してきた.今回,十字形状ドット配列を作製してMFMによる評価を行った.MFM探針は,高モーメントと低モーメントの2種類を用いたが,どちらの探針を用いても十字を構成するバーの先端には磁極が現れた.その極性はすべてのドットについて同一な方向に見られ,縦横のバーが交差する部分に正負の磁極が観測された.Landau-Lifshitz-Gilbert(LLG)方程式を用いて,観測された微細な磁性ドット配列の磁化状態のマイクロマグネティックシミュレーションを行った.本研究は,東京農工大学21世紀COEプログラム「ナノ未来材料」の一環として行っている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-02-06
著者
-
石橋 隆幸
長岡技術科学大学工学部
-
纐纈 明伯
東京農工大学大学院・工学系
-
佐藤 勝昭
東京農工大学工
-
町田 賢司
Nhk放送技術研究所
-
佐藤 勝昭
東京農工大学
-
Sato K
Faculty Of Engineering Fukui University Of Technology
-
石橋 隆幸
東京農工大学
-
山本 尚弘
東京農工大学大学院工学教育部
-
手塚 智之
東京農工大
-
森下 義隆
東京農工大
-
石橋 隆幸
長岡技術科学大学 工学部
-
纐纈 明伯
東京農工大
-
Satoh K
Faculty Of Engineering Fukui University Of Technology
-
石橋 隆幸
東京農工大学大学院工学教育部
-
Sato K
Department Of Physics Faculty Of Science Toyama University
-
Satoh K
Mitsui Engineering Ship Building Co. Ltd. Tamano Jpn
-
佐藤 勝昭
東京農工大
-
石橋 隆幸
東京農工大
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