トンネル絶縁膜特性に及ぼす電極上絶縁膜の影響
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概要
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MOSキャパシタのゲート電極上の絶縁膜がトンネル絶縁膜特性の高電界ストレス耐性に及ぼす影響について検討した。電極上のONO(SiO_2/Si_3N_4/SiO_2)膜形成においてSi_3N_4膜を高温酸化する際にトンネル絶縁膜中に電子捕獲中心が生成される。この高温酸化により多結晶シリコン電極中にテンサイルな応力が発生することから、トンネル絶縁膜中の電子捕獲中心の増大はトンネル絶縁膜にテンサイルな応力がかかり、絶縁膜中の結合が切れ易くなったためと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-04-21
著者
-
久米 均
(株)日立製作所中央研究所
-
三浦 英生
(株)日立製作所機械研究所
-
大路 譲
株式会社日立製作所半導体事業部
-
加藤 正高
(株)日立製作所中央研究所
-
足立 哲生
(株)日立製作所中央研究所
-
久米 均
日立製作所中央研究所
-
加藤 正高
(株)日立製作所半導体事業部半導体開発センタ
-
大路 譲
(株)日立製作所
-
牛山 雅弘
(株)日立製作所中央研究所-ULSI研究部
-
八島 秀幸
(株)日立製作所中央研究所-ULSI研究部
-
西本 敏明
(株)日立製作所半導体事業部
-
小森 和宏
(株)日立製作所半導体事業部
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
-
足立 哲生
(株)日立製作所半導体事業部半導体開発センタ
-
八島 秀幸
(株)日立製作所中央研究所ulsi研究部
-
牛山 雅弘
(株)日立製作所中央研究所ulsi研究部
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